ICS 77. 040. 01 H 17 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 8757—2006 代替GB/T8757—1988 砷化中载流子浓度等离子共振 测量方法 Determination of carrier concentration in gallium arsenide by the plasma resonance minimum 2006-07-18 发布 2006-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 8757—2006 前言 本标准是对GB/T8757一1988《砷化镓中载流子浓度等离子共振测量方法》的修订。 本标准与GB/T8757—1988相比主要有以下变动： 原标准表述仪器要求使用了波数表示法，为了和其他条款的表述一致，改为波长表示法； 原标准规定，为测定仪器的波长精度和重复性，要测量聚苯乙烯膜的吸收带10次。但未规定 是按固定周期还是在每次测量前做这项工作，也没有规定如果在这10次测量结果中出现一次 或几次不符合要求时应如何处理，不便于实际操作。修改后规定为每次打开仪器按仪器说明 书的要求预热一定时间后，在正式测量前进行一次测量聚苯乙烯膜的吸收带的校准； 一原标准5.1式中的常数c对于砷化镓材料总是为零，故在表达式中取消。 本标准自实施之日起代替GB/T8757—1988。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。 本标准起草单位：北京有色金属研究总院 本标准主要起草人：王彤涵。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T8757—1988。 I GB/T8757—2006 砷化镓中载流子浓度等离子共振 测量方法 1范围 本标准适用于掺杂砷化镓单晶中载流子浓度的测量。测量范围： n-GaAs1.0X1017cm-3~1.0X1019cm-3 p-GaAs2.0×1018cm-3~1.0×102°cm3 2原理 在红外光谱区域，重掺杂半导体材料的反射率为波长的函数，材料的载流子浓度和反射光谱的等离 子体共振极小值波长具有对应关系，测量此波长，根据公式可计算出载流子浓度。 3仪器 3.1双光束红外分光光度计或傅立叶红外光谱仪，波长范围为2.5um～50μm，或波数范围为 4000cm-1～200cm-1。如果波长范围较窄，则测量范围相应减小。 3.2仪器的波长和波长重复性误差不大于0.05um。在10μm处光谱分辨率为0.02μm或更好。 3.3仪器应配有反射附件，人射角不大于30。仪器应配有黑体材料制成的多种孔径的光阑。 4样品 4.1作为样品的单晶片，表面必须研磨后进行机械或化学抛光，使样品表面在良好的光线下看上去平 整光洁。 4.2样品的导电类型应是已知的。 5测量 5.1仪器校准 5.1.1打开仪器，按说明书的要求进行预热。测量厚度为300μm～500μm的聚苯乙烯膜的吸收光 谱，核对3.303um吸收带，其结果应满足条款3.2的要求。 5.1.2安装反射附件后测量100%线，其峰谷值差应小于8%。 5.2测量 5.2.1选择适当的扫描速度，以满足条款3.2的要求。测量并记录样品的反射光谱。如果反射谱线 的极小值与任一边的最大值之差小于10%，则应提高仪器的放大倍数并重新记录反射光谱。 5.2.2在反射谱线的极小值两侧约0.5μm～1μm处分别作两条与谱线相切的直线，两直线的交点 处即为反射极小值的位置。 6计算 载流子浓度按以下公式计算： SAC N=（A·Λmin)B .(1) 式中： N———载流子浓度，单位cm-"； 1