ICS 71. 100.20 G 86 GR 中华人民共和国国家标准 GB/T16945—2009 代替GB/T16945—1997 电子工业用气体氩 Gas for electronic industryArgon 2009-10-30发布 2010-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T16945—2009 前言 本标准代替GB/T16945—1997《电子工业用气体氩》。 本标准与GB/T16945—1997相比主要变化如下： 修改氩的适用范围（GB/T16945一1997的第1章，本版的第1章）； 增加规范性引用文件（GB/T16945一1997的第2章，本版的第2章）； 修改技术指标内容：增加一类纯度和杂质含量（GB/T16945元-1997的第3章，本版的第3章）； 修改瓶装氩抽样方法（GB/T16945—1997的4.1.1，本版的4.1.1)； 一 增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶和杜瓦罐装氩产品并规定检验方法（见4.1.1）； 修改管道输送的氩抽样方法（GB/T16945—1997的4.1.1，本版的4.1.2)； 增加氩的采样安全要求（见4.1.3）； 修改氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定方法（GB/T16945一1997的4.3、4.4、4.5，本版的 4.3); 增加其他方法测定总烃；当出现多种分析方法时，增加规定仲裁方法（见4.3、4.4、4.5）； 修改水分的测定方法（GB/T16945—1997的4.7，本版的4.5）； 修改标志、包装，贮运及安全（GB/T16945一1997的第5章，本版的第5章）。 本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。 本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口。 本标准起草单位：北京氮普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院。 本标准主要起草人：赵俊秀、周鹏云。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T16945—1997。 I GB/T16945—2009 电子工业用气体 氩 1范围 本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全 本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。 氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退 火等不同工艺中。 分子式：Ar。 相对分子质量：39.948（按2005年国际相对原子质量）。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T4842—2006氩 GB/T5832.1气体中湿度的测定电解法 GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法 3技术要求 3.1电子工业用气体氩的质量应符合表1的要求。 表1技术指标 项 目 指 标 氩气（Ar)纯度（体积分数）)/10-2 99.999 9 99. 999 2 氢（H²）含量（体积分数）/10-6 < 0.1 1 氮（N2）含量（体积分数）/10-6 0. 5 5 氧（O2）含量（体积分数）/10- < 0. 2 0.5 氧化碳：0.1 氧化碳（CO）和二氧化碳（CO2）总含量（体积分数）/10- 0.5 二氧化碳：0.1 总烃（以甲烷计）含量（体积分数）/10-6 0.1 0. 5 水分（HzO)含量（体积分数）/10-6 0. 2 0.5 杂质总含量（体积分数）/10- 1 8 颗粒 供需双方商定 供需双方商定 3.2液态氩的水分应气化后测定。 4试验方法 SZG 4.1抽样、判定和复验 4.1.1瓶装、集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氩产品应逐一检验并验收。当检验结果有 1 GB/T16945—2009 任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。生产企业应确保每一包装氩产品符合本 标准技术要求 4.1.2对稳定生产的管道输送的气态氩由供需双方确定抽样方案。企业应确保管道输送的氩产品符 合本标准技术要求。 4.1.3氩采样安全应符合GB/T3723的相关规定。 4.2氩纯度 氩纯度按式(1)计算： =100-（+++++）X10-4 .(1) 式中： Φ—氩纯度（体积分数)/10-2； Φ1——氢含量（体积分数）/10-5 Φ2——氮含量（体积分数）/10-5； Φ——氧含量（体积分数）/10-°； 44——一氧化碳十二氧化碳含量（体积分数）/10-6； Φs——总烃（以甲烷计）含量（体积分数）/10-； p。一水分含量（体积分数）/10-。 4.3氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳含量的测定 氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定方法按GB/T4842一2006中4.3的规定 仪器检测限：0.05×10-6（体积分数）。 4.4总烃（以甲烷计）含量的测定 按GB/T8984规定的方法或其他等效的方法测定氩中的微量总烃含量。当以上测定结果有异议 时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。 仪器检测限：0.05×10-6（体积分数）。 4.5气体标准样品 气体标准样品中的组分含量为（1～5)X10-（体积分数），平衡气为氩。 4.6水分含量的测定 按GB/T5832.1执行。 仪器检测限：0.05×10-（体积分数）。 允许采用其他等效的方法测定氩中水分含量。当测定结果有异议时，以GB/T5832.1规定的方法 为仲裁方法。 5标志、包装、贮运及安全 5.1推荐使用进行内表面处理的气瓶，气瓶内表面应满足本标准对于水分和颗粒的要求。 5.2包装容器上应标明“电子氩”字样。 5.3其余按GB/T4842一2006中第5章的规定。 2 GB/T16945—2009 任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。生产企业应确保每一包装氩产品符合本 标准技术要求 4.1.2对稳定生产的管道输送的气态氩由供需双方确定抽样方案。企业应确保管道输送的氩产品符 合本标准技术要求。 4.1.3氩采样安全应符合GB/T3723的相关规定。 4.2氩纯度 氩纯度按式(1)计算： =100-（+++++）X10-4 .(1) 式中： Φ—氩纯度（体积分数)/10-2； Φ1——氢含量（体积分数）/10-5 Φ2——氮含量（体积分数）/10-5； Φ——氧含量（体积分数）/10-°； 44——一氧化碳十二氧化碳含量（体积分数）/10-6； Φs——总烃（以甲烷计）含量（体积分数）/10-； p。一水分含量（体积分数）/10-。 4.3氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳含量的测定 氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定方法按GB/T4842一2006中4.3的规定 仪器检测限：0.05×10-6（体积分数）。 4.4总烃（以甲烷计）含量的测定 按GB/T8984规定的方法或其他等效的方法测定氩中的微量总烃含量。当以上测定结果有异议 时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。 仪器检测限：0.05×10-6（体积分数）。 4.5气体标准样品 气体标准样品中的组分含量为（1～5)X10-（体积分数），平衡气为氩。 4.6水分含量的测定 按GB/T5832.1执行。 仪器检测限：0.05×10-（体积分数）。 允许采用其他等效的方法测定氩中水分含量。当测定结果有异议时，以GB/T5832.1规定的方法 为仲裁方法。 5标志、包装、贮运及安全 5.1推荐使用进行内表面处理的气瓶，气瓶内表面应满足本标准对于水分和颗粒的要求。 5.2包装容器上应标明“电子氩”字样。 5.3其余按GB/T4842一2006中第5章的规定。 2