ICS 31-550 L 97 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 15862—2012 代替GB/T15862—1995 离子注入机通用规范 General specification of ion implantation equipment 2012-11-05发布 2013-02-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T15862—2012 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替GB/T15862一1995《离子注人机通用技术条件》。 本标准与GB/T15862—1995相比主要变化如下： GBn193—1983由GB/T13384—1992代替； 相应要求（见6.4.6）； 一环境温度调整为23℃土2℃；相对湿度规定范围30%～50%（见5.1.3）； 一安全要求中增加“警示标识”的条款（见6.3.1)； 去掉表3、表4； 均匀性测量增加了热波探针法测量条件和方法（见6.4.4.1b)）； 重复性测量增加了批间重复性测量方法（见6.4.5.2）； 检验规则去掉例行检验项。 本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出。 本标准由中国电子技术标准化研究所归口。 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所。 本标准主要起草人：郭健辉、彭立波、罗宏洋。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T15862—1995。 GB/T15862—2012 离子注入机通用规范 1范围 本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体工艺用电能离子注人机。其他离子注人机亦可参照使用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T191包装储运图示标志 GB/T4857.72005包装运输包装件基本试验第7部分：正弦定频振动试验方法 GB/T5080.7—1986设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试 验方案 GB/T6388—1986运输包装收发货标志 GB/T13384—1992机电产品包装通用技术条件 GB18209.1机械安全指示、标志和操作第1部分：关于视觉、听觉和触觉信号的要求 SJ/T142电子工业专用设备通用规范 SJ/T 1276 金属镀层和化学处理层质量检验技术要求 SJ/T10674 涂料涂覆通用技术条件 3术语 下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 量beamenergy 束能量 到达靶上离子所具有的动能。 注：单位为电子伏特（eV)。 3.2 着靶束流beamcurrentontarget 单位时间内靶上接收到的离子束电荷量。 注：单位为安培（A)。 3.3 uniformity 均匀性 SAC 表征注入离子剂量不均匀的程度。用相对标准偏差表示。 3. 4 重复性 repeatability 表征片间（或批间）在相同条件下注人离子剂量不重复的程度，用相对标准偏差表示。 1 GB/T15862—2012 3.5 真空度 vacuum 不引束条件下，离子注人机真空室所能达到的最低压强。 3.6 注入角度 implantangle 离子束方向与晶片被注人表面法线方向之间的夹角。 3.7 最大晶片传输效率 mechanical throughput 在单位时间内，设备传输晶片的最大数量（不包含注入过程）。 4产品分类 4.1离子注人机按能量高低分为： a） 低能离子注人机； 中能离子注入机； 高能离子注人机； c) (p 兆伏离子注人机。 4.2 离子注人机按束流大小分为： 小束流离子注人机； a） b) 中束流离子注人机； c) 强流离子注人机； 超强流离子注人机。 5技术要求 5.1工作条件 5. 1. 1 气压：86kPa～106kPa; 5.1.2 环境温度：23℃土2℃； 5. 1.3 相对湿度：30%~50%； 5.1.4净化间：洁净度由具体产品标准规定； 5. 1.5 供电电压：三相五线制，交流电压380V土10%；频率50Hz士1%； 5. 1. 6 接地电阻：<42。 5. 2 一般要求 离子注人机的控制方式、主要装置、任选件、备件，应在具体产品标准和说明书中明确规定和说明。 5. 3 外观要求 陷，符合SJ/T142的要求。 5.3.2标牌安装牢固、字迹清晰。 5.3.3油漆涂覆的零部件，其漆层应平整清洁、牢固光滑、色泽一致，不得有流挂、起泡、划痕等缺陷，符 合SJ/T10674的要求。 5.3.4电镀及化学涂覆的零件，其表面应光滑细致、无斑点、锈蚀、起泡、烧痕等缺陷，符合SJ/T1276 2 GB/T15862—2012 的规定。 5.3.5 紧固件连接牢固、无松动现象。 5.4安全要求 5.4.1设备上应对“高压、毒害、运动部件”等做警示标识，符合GB18209.1的要求。 5.4.2设备应有良好的射线防护设施，在距机器外表面50mm处检测射线剂量应小于0.06mR/h。 5.4.3在离子源送气管路，气源瓶柜，真空排气部分等机柜上方要设有标准尺寸的排风口，以便与用户 厂房内的排气设施相连接。离子源送气管路活动连接采用耐腐蚀不锈钢材料的金属密封，气体管路和 控制元件能适应低压气瓶（SDS气体）使用。设备如果采用有毒有害工艺气体，用户应在气柜和气体管 路区间设置对应的气体泄漏检测报警装置。 5.4.5设备应有保障人身安全和设备安全的高压放电、过载、短路、停电、停水、停气等故障的防护装置 和报警联锁装置，在操作区设置必要的紧急开关。 5.4.6设备的三相电源入线口与机壳之间应耐1500V的交流电压、1min不被击穿和不产生放电，其 漏电流不大于1.0mA。 5. 4.7 设备应有全面的地线布置，并有一点接地，而且应有明显的接地标志。 5.5 主要性能要求 5.5.1束能量 束能量范围应按表1规定的范围在具体产品标准中给出，能量按单电荷计算。 表 1 类别 能量范围/keV 低能离子注入机 <100 中能离子注入机 100~300 高能离子注入机 >300~1000 兆伏离子注人机 >1 000 5.5. 2 着靶束流 着靶束流大小按表2规定的范围在具体产品标准中给出。束流稳定性应不大于10%/h。 表 2 类别 束流范围 小束流离子注入机 100 nA~100 μA 中束流离子注入机 100μA~2000μA 强流离子注入机 2 mA~30 mA 超强流离子注入机 >30 mA 5.5.3注入元素 注入元素的种类和质量应在具体产品标准中给出。 3