ICS 77.150 H 66 中华人民共和国国家标准 GB/T 11071—2018 代替GB/T11071—2006 区熔锗锭 Zone-refined germanium ingot 2019-07-01实施 2018-12-28发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 11071—2018 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准代替GB/T11071—2006《区熔锗锭》，与GB/T11071—2006相比，除编辑性修改外主要技 术变化如下： 范围进一步明确为“本标准适用于以还原锗锭及锗单晶返料为原料，经区熔提纯工艺制备得到 的区熔锗锭。ZGe-0区熔锗锭主要用于制备半导体及高纯锗探测器用的高纯锗单晶；ZGe-1 区熔锗锭主要用于制备红外光学用的锗单晶、太阳能电池用的锗单晶及各类锗-铬、锗-硅合金 等”（见第1章）。 增加了区熔锗锭在（23士0.5）℃下电阻率的要求（见3.2）。 一“同一根锗锭的最大与最小截面面积之差不大于平均截面面积的15%”修改为“同一根区熔锗 锭的头尾两端的高度差不大于4mm"（见3.3，2006年版的3.3）。 一“锭长100mm~500mm"修订为"长度应不小于100mm"（见3.3，2006年版的3.3）。 一增加了区熔锗锭的表面应无孔洞的要求（见3.4，2006版的3.4）。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 本标准起草单位：云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、有研光电新材料有限责任公司、中锗科技有限 公司、衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司、广东先导稀材股份有限公司、锡林郭勒通力锗业有限责任公 司、云南东昌金属加工有限公司。 本标准主要起草人：包文东、普世坤、李贺成、冯德伸、惠峰、范德胜、朱知国、李正美、董汝昆、朱刘、 尹士平、王晓华。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T11071—1989,GB/T11071—2006。 1 GB/T11071—2018 区熔锗锭 1范围 本标准规定了区熔锗锭的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单 (或合同)内容。 本标准适用于以还原锗锭及锗单晶返料为原料，经区熔提纯工艺制备得到的区熔锗锭。ZGe-O区 熔锗锭主要用于制备半导体及高纯锗探测器用的高纯锗单晶；ZGe-1区熔锗锭主要用于制备红外光学 和太阳能电池用的锗单晶及各类锗-铬、锗-硅合金等。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T4326非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法 YS/T602区熔锗锭电阻率测试方法两探针法 3要求 3.1产品分类 区熔锗锭按电学性能分为两个牌号：ZGe-0、ZGe-1。 ZGe- 口 阿拉伯数字，表示产品等级 表示区熔锗锭 3.2电学性能 区熔锗锭的电学性能应符合表1的规定。电阻率可选择采用在20℃或23℃的条件下进行测试， 并满足表1的规定。 表1 电学性能 电阻率/(α·cm） 检测单晶的参数（77K） 牌号 载流子浓度 载流子迁移率 (20±0.5)℃ (23±0.5)℃ cm-3 cm-3 /(V . S) ZGe-0 ≥50 ≥47 ≤1.5×1012 ≥3.7X104 ZGe-1 >50 ≥47 3.3尺寸外形 区熔锗锭的横截面应为梯形，同一根区熔锗锭的头尾两端的高度差应不大于4mm。区熔锗锭的 GB/T11071—2018 上宽应不小于26mm，下宽应不小于21mm，高度应不小于23mm，长度应不小于100mm。 3.4表面质量 区熔锗锭的表面应呈银灰色光泽，无氧化膜、裂纹、孔洞和浮渣。 3.5其他 需方如对产品电学性能和尺寸外形等有其他特殊要求，可由供需双方另行商定。 4试验方法 4.1区熔锗锭的电阻率检验按YS/T602的规定沿区熔锗锭底面的中心线纵向进行检验，点间距不大 于30mm 4.2锗单晶的载流子浓度和载流子迁移率的检验按GB/T4326的规定进行，测试样品从头部切取， 4.3区熔锗锭的横截面尺寸用游标卡尺进行测量，长度用直尺进行测量。 4.4区熔锗锭的表面质量用目视检查。 5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1产品应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写 质量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准（或订货合同）的规定不符 时，应在收到产品之日起1个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样按5.4进行 5.2组批 区熔锗锭应成批提交验收。每批应由同一牌号的产品组成，每批不大于100kg。 5.3检验项目 5.3.1每批产品应对电阻率、尺寸外形、表面质量进行检验。 5.3.2ZGe-0牌号的产品需制成锗单晶后对载流子浓度、载流子迁移率进行检验 5.4取样和制样 5.4.1尺寸外形和表面质量的检验应逐根进行。 5.4.2电阻率的检验取样按总根数的10%抽取。 5.4.3ZGe-0牌号产品的载流子浓度和载流子迁移率的取样按每批随机抽取1根，并按附录A规定的 方法将其制备成单晶。 5.5检验结果的判定 5.5.1尺寸外形或表面质量的检验结果不合格时，判该根产品不合格。 5.5.2电阻率的检验结果不合格时，判该批产品不合格。 5.5.3ZGe-0牌号产品的载流子浓度或载流子迁移率的检验结果不合格时，判该批产品不合格，或由供 需双方协商确定。 2 GB/T11071—2018 6 标志、包装、运输、贴存和质量证明书 6.1标志 6.1.1每根区熔锗锭应密封于聚乙烯薄膜袋中，并在袋上贴上标签，注明供方名称、商标、牌号和批号。 6.1.2区熔锗锭应成箱包装，每箱应注明： 供方名称； b）产品名称和牌号； c）批号。 6.2包装 6.2.1将密封于聚乙烯薄膜袋中的区熔锗锭放在泡沫塑料垫的凹槽内，然后叠放人符合环保要求的包 装箱内，并用填料塞紧，以防区熔锭窜动。每箱区熔锗锭质量不大于50kg。包装箱外用包扎带捆 牢，箱外应有“防震”“防潮”“防腐蚀”字样或标志。 锗单晶和检测样品分别密封装在聚乙烯薄膜袋内，并计入批重，并在箱外注明“内有检测样品”字样。 6.3 3运输、贮存 区熔锗锭在运输和贮存过程中要防止机械损伤、防腐蚀、防潮、防震动。 6.4质量证明书 每批产品应附有质量证明书，其上注明： a)） 供方名称、地址、电话、传真； b) 产品名称和牌号； 批号； (P 分析检验结果和技术监督部门印记； e) 本标准编号； 出厂日期（或包装日期）。 7订货单（或合同）内容 本标准所列材料的订货单（或合同）应包括下列内容： a）产品名称； b) 牌号； 尺寸外形、电阻率及其他特殊要求； (P 数量； e）本标准编号； f）其他。 3