ICS 25.180.10 K 61 中华人民共和国国家标准 GB/T 10067.414—2018 电热和电磁处理装置基本技术条件 第414部分：工业宝石炉 Basic specification for electroheating and electromagnetic processing installations- Part 414:Industrial gem furnace 2019-01-01实施 2018-06-07发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 10067.414—2018 目 次 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 产品分类 设计和制造 5 6 性能要求 7 试验方法 8 检验规则 标志、包装、运输和贮存 6 10 订购与供货 GB/T 10067.414—2018 前言 GB/T10067《电热和电磁处理装置基本技术条件》分为以下部分： 第1部分：通用部分； 第2部分：电弧加热装置； 一第21部分：大型交流电弧炉； 第3部分：感应电热装置； 第31部分：中频无心感应炉； 一第32部分：电压型变频多台中频无心感应炉成套装置； 第33部分：工频无心感应熔铜炉； 第34部分：晶体管式高频感应加热装置： 第35部分：中频真空感应熔炼炉； 第4部分：间接电阻炉； 第41部分：网带式电阻加热机组； 第42部分：推送式电阻加热机组； 第43部分：强迫对流井式电阻炉； 第44部分：箱式电阻炉； 第45部分：真空淬火炉； 第46部分：罩式电阻炉； 第47部分：真空热处理和钎焊炉； 第48部分：台车式电阻炉； 第49部分：自然对流井式电阻炉； 第410部分：单晶炉； 第411部分：电热浴炉； 第412部分：箱式淬火炉； 第413部分：实验用电阻炉； 第414部分：工业宝石炉； 第415部分：多晶硅铸锭炉； 第5部分：高频介质加热设备； 第8部分：电渣重熔炉。 本部分为GB/T10067的第414部分。 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本部分由中国电器工业协会提出。 本部分由全国工业电热设备标准化技术委员会（SAC/TC121)归口。 本部分起草单位：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司、西 安电炉研究所有限公司、元亮科技有限公司、常州市乐萌压力容器有限公司、国家电炉质量监督检验中 心、江苏星特亮科技有限公司、中国电工技术学会电热专业委员会。 本部分主要起草人：李留臣、左洪波、余维江、柳祝平、潘燕萍、李琨、徐海波、束天和、袁芳兰、张永武、 周正星、炀。 Ⅲ GB/T10067.414—2018 电热和电磁处理装置基本技术条件 第414部分：工业宝石炉 1范围 GB/T10067的本部分规定了工业宝石炉的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、 运输和贮存及订购与供货。 本部分适用于高真空或在保护气氛低正压条件下采用不同长晶方法（如提拉法、泡生法、导模法、热 交换法、温度梯度法、埚下降法等）生长宝石晶体的工业宝石炉，其他工业宝石炉也可参照使用。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T150.1一2011压力容器第1部分：通用要求 GB/T2900.23—2008电工术语工业电热装置 GB3095—2012环境空气质量标准 GB5959.1一2005电热装置的安全第1部分：通用要求 GB8978—1996污水综合排放标准 GB/T10066.1一2004电热设备的试验方法第1部分：通用部分 GB/T10066.4一2004电热设备的试验方法第4部分：间接电阻炉 GB/T10067.1—2005电热装置基本技术条件第1部分：通用部分 GB/T10067.4一2005电热装置基本技术条件第4部分：间接电阻炉 GB/T10067.4102014电热装置基本技术条件第410部分：单晶炉 GB 12348—2008 工业企业厂界环境噪声排放标准 GB16297—1996 6大气污染物综合排放标准 JB/T 96911999 电热设备产品型号编制方法 3术语和定义 GB/T2900.232008、GB/T10067.4一2005、GB/T10067.410一2014界定的以及下列术语和定义 适用于本文件。 3.1 工业宝石炉 industrial gemfurnace 在高真空或在保护气氛低正压条件下采用不同长晶方法（如提拉法、泡生法、导模法、热交换法、温 度梯度法、埚下降法等)生长宝石晶体的工业电热设备。 3.2 提拉轴 pullershaft 用于固定籽晶实现晶体生长提拉及旋转，同时进行热量传输配合热场实现晶体生长所需温度梯度 1 GB/T10067.414—2018 的运动杆件。 3.3 埚轴 crucibleshaft 用于支撑璃实现晶体生长熔池液面旋转，同时进行热量传输配合热场实现晶体生长所需温度梯 度的运动杆件。 3.4 提拉法 czochralskimethod 宝石晶体的一种长晶方法，即原料被加热熔化至熔体后，通过固体籽晶末端与液面接触形成具有温 度差的固液界面，逐渐冷凝生长出与固体籽晶结构相同的晶体，固体籽晶通过提拉轴缓速旋转提拉上 升，实现固液界面上连续长晶 3.5 泡生法kyropoulosmethod 宝石晶体的一种长晶方法，即原料被加热熔化至熔体后，固体籽晶末端与液面接触，通过热交换器 实现熔体之间热量交换，生长出与固体籽晶结构相同的晶体，固体籽晶通过提拉轴缓速提拉上升形成晶 晶锭。 3.6 导模法edge-definedfilm-fedgrowth 宝石晶体的一种长晶方法，即原料被加热熔化至熔体后，将带有带毛细通道的金属模具（熔点高于 长晶。 3.7 热交换法heatexchangermethod 宝石晶体的一种长晶方法，即将底部中心安放固体籽晶的璃固定在热交换器上，通过控制热场使 固体籽晶被加热熔化时剩余一定固体，通过控制热交换器，使晶体生长区内产生下冷上热的温度梯度， 在底部籽晶引导下，生长出与籽晶结构相同的晶体 3.8 温度梯度法temperaturegradienttechnique 宝石晶体的一种长晶方法，即将底部中心安放固体籽晶的固定在水冷轴上，通过控制热场 使固体籽晶被加热熔化时剩余一定固体，通过控制加热功率，在籽晶周围产生具有一定温度梯度的热 场，实现晶体由下向上长晶 3.9 下降法 verticalgradientfreezemethod 宝石晶体的一种长晶方法，即通过加热器（分为上下两部份，上部温度高，下部温度低）产生温度梯 度，通过下降，使晶体生长固液界面与加热器位置相对固定，实现晶体长晶。 4产品分类 4.1型号参数 按照JB/T9691—1999，工业宝石炉型号参数及代号规定如下所示： 2