UDC 620.1.05 L 97 中华人民共和国国家标准 GB/T15394-94 多探针测试台通用技术条件 General specification for probe tester 1994-12-28发布 1995-08-01实施 国家技术监督局发布 中华人民共和国国家标准 GB/T 15394-94 多探针测试台通用技术条件 Geaeral specification for probe tester 主题内容与适用范围 本标准规定了多探针测试台（以下简称探针台）的术语、技术要求、试验方法、检验规则、包装贮存等 要求。 本标准适用于手动、半自动、全自动多探针测试台。其他类型的探针测试台亦可参照使用。 2 引用标准 GB 191↑ 包装储运图示标志 GBn193出口机械、电工、仪器仪表产品包装通用技术条件 GB 2681 电工成套装置中的导线颜色 GB 2682 电工成套装置中的指示灯和按钮的颜色 GB3768 噪声源声功率级的测定简易法 GB5080.7设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案 GB5226机床电气设备通用技术条件 GB 6388 运输包装收发货标志 3术语 3.1探针台probe station 利用金属探针将晶片上芯片的电极与测试仪联接，以完成芯片电参数中间测试的设备。 3.2手动探针台manualprobestation 操作步骤全部由人工完成的探针台。 3.3半自动探针台semi-automatic probe station 能自动完成除图像识别、自动对准之外的所有其他探测步骤的探针台。 3.4全自动探针台fully-automatic probe station 能自动完成包括图像识别、自动对准在内的所有探测步骤，并具有多种功能的探针台。 3.5探针probe 具有特定机械电气性能和结构尺寸的金属针。 3.6测试支架 test support 可在一定范围内分别调节探针的X、Y、Z向距离、用以安装固定探针的部件。 3.7探针卡probe card 根据被测芯片电极所需探针的数量及布局，将探针对应固定于一块基板上的卡片。 3.8 探边器 edge sensor 用来探测探针是否已测至被测晶片边缘的部件。 国家技术监督局1994-12-28批准 1995-08-01实施 1 GB/T 15394—94 3.9打标记器inking system 给性能参数不合格的芯片打上标记的部件。 3.10矩阵控制方式squarematrixprobing mode 用键盘或拨码开关输入X、Y方向的图形数目及图形间距，用以控制工作台的移动。 4产品分类 按探针台的自动化程度可分为： a.手动探针台； b．半自动探针台； c.全自动探针台。 5″技术要求 5.1一般要求 5.1.1探针台上指示润滑、操作、安全等的标牌或标志，应符合有关标准的规定。 5.1.2探针台一般应有测试完毕后的自动回零、停机、报警等功能。 5.1.3导轨、轴承、齿轮等运动部件应润滑良好，各润滑部位应在具体产品说明中明确规定。 5.1.4探针台测试控制方式一般应具有矩阵控制方式和探边器控制方式。 5.2使用条件 探针台应能在下列使用条件下正常工作。 5.2.1环境条件 it. 温度：23士3℃， b. 相对湿度：不大于70%； c. 空气洁净度：优于10000级。 5.2.2 供电条件 a. 220±10 V; h. 50±1 Hz。 5.3外观要求 5.3.1 探针台外表面不允许有凸起、凹陷、毛刺、粗糙、不平和其他损伤现象。 5.3.2外表喷漆颜色均匀，色调一致，平整光滑不得有脱落、龟裂、流挂、起泡、划痕及误喷等现象，套色 不得相污染。 5.3.3电镀及化学涂覆的零件表面应光滑，无斑点、锈蚀、起泡、脱层及明显划痕等缺陷。 5.3.4操作面板及各种标牌应清晰耐久，其中的刻线、数字、文字和图形符号等标志应正确，均匀并有 涂色。 5.4工作台精度要求 5.4.1步进工作台X-Y向的垂直度应在具体的产品标准中规定，其值不得大于0.005mm。 5.4.2步进工作台的定位精度应在具体的产品标准中规定，其值不得大于土0.013mm。 5.4.3步进工作台行进分辨率应在具体的产品标准中规定，其值不得大于0.01mm。 5.4.4步进工作台重复精度应在具体的产品标准中规定，其值不得大于土0.003mm。 5.5承片台 5.5.1承片台在高位时吸盘端面圆跳动应不大于0.015mm（包括吸盘回转及承片台沿X-Y向移动时 的示值误差）。 5.5.2承片台重复精度应在具体产品标准中规定，其值不得大于士0.01mm。 5.5.3承片台Z向行程应能在不小于0.8mm的范围内可调。 2 GB/T 15394—94 5.5.4承片台回转角度应不小于±10° 5.6.测试支架调节范围 a.X向不小于 6mm; b.Y向不小于4mm; c. Z 向不小于 4 mm。 5.7探边器的调节范围 a. X向不小于6mm； b. Y向不小于4mm; 向不小于 4 mm。 c. 5.8打标记器的调节范围 a. X 向不小于 6 mm b.Y向不小于4 mm; c.Z向不小于4mm。 5.9上下片机构 5.9.1上下片输片机构传送应灵活、平稳、准确。 5.9.2预定位应准确、可靠。定位角度6应不大于士3。 5.9.3机械手吸片应牢固、动作平稳、准确。 5.10自动对准机构 5.10.1探针台自动对准时间不大于30 s。 5.10.2探针台自动对准精度应不大于士0.003mm。 5.11电气控制系统 5.11.1X,Y向步距范围：一般为0.01~9.99mm 5.11.2印制线路板与相应插座应接触可靠，不得有错位、卡死等现象。 5.11.3 同一型号的探针台其相同印制线路版应能机间互换，并保证互换后电气性能和逻辑功能的正 确。 5. 11. 4 导线颜色应符合GB2681的规定。 5. 11. 5 指示灯和按钮的颜色应符合GB2682的规定。 5. 11. 6 内部走线应用线卡或线糟等结构件固定，并紧贴电气箱壁而走线，不得悬浮或空中飞线。 5. 11.7 线路完整，绝缘层无破裂，无漏电现象。 5.11.8 导线安装不得产生机械拉力，外部移动导线应附设在耐材料的管内，以免损伤。 5.11.9需要从机箱中抽出的部件，其连接导线应留足够余量。 5. 11. 10 元器件或电气部件等电气项目应按规定标记项目代号，并与相应图纸一致。 5. 11. 11 1导线端应按规定标记。 5.12噪声 探针台空载运转时其噪声应小于56dB（A）。 5.13振动 探针台运转时其振幅在 X.Y、Z三个方向均应小于0.001 mm。 5.14可靠性要求 探针台平均无故障时间(MTBF)的 F 项值 m1 不小于 240 h,平均维修时间(MTTR)不大于 3 h。 5.15安全要求 5.15.1探针台必须设置接地螺钉和明显的接地标志。 5.15.2动力电路与保护电路导线之间的绝缘电阻不得小于1MQ。 5.16成套性要求 3 GB/T15394-94 5.16.1制造厂提供探针台时，应包括主机、附件、易损件、备件和随机技术文件，以及满足合同规定的 其他技术要求。附件、备件和随机技术文件应在具体产品说明中明确规定和说明。 5.16.2制造厂提供探针台时，必须随机供给维修指导文件。 6试验方法 6. 1 一般检查 按设计文件，产品说明书等有关技术文件，并实际操作探针台对照检查。 6.2外观检查 用目测法对探针进行外观检查。 6.3工作台精度测试 6.3.1用标准角尺和分度值为 0.001mm的电感化比较仪在针盘下有效测试区检测步进工作台X,Y 向的垂直度。 6.3.2用1级量块和分度值为0.001 mm的电感比较仪在X、Y向的有效区间内检测探针台步进工作 台定位精度。 6.3.3用分度值为0.001mm的电感比较仪检测探针台步进工作台行进分辨率。 6.3.4用分度值为 0.001mm的电感比较仪在X,Y向的有效测试区间内检测探针台步进工作台的重 复精度。测量次数n≥10,记录每次电感比较仪示值L1，L?，LL，按公式（1)求出算术平均值L，再 按公式(2)求出均方差,取士3g作为步进工作台的重复精度。 (mm) (1) n Li - L) + (L2 - L) + ....(L, - L)2 (uw) ..( 2 ) -1 6.4承片台测试 6.4.1用分度值为0.001mm的电感比较仪在有效测试区间内检测探针台承片台吸盘在高位时的圆 端面跳动。 6.4.2承片台的重复精度检查方法按本章6.3.4条。 6.4.3用百分表和钢板尺检测承片台的Z向行程。 6.4.4开机实际操作用角度尺检查承片台的回转范围。 6.5测试支架测试 6.5.1实际操作，用目测法检查测试探头在X、Y、Z三个方向的调节范围。 6.5.2在30倍显微镜下逐个检查针头移动过程的稳定性。 6.6探边器检查 实际操作用目测法检查探边器在 X、Y、Z 三个方向的调节范围。 6.7打标记器检查 实际操作用目测检查打标记器在X、Y、Z三个方向的调节范围。 6.8上下片机构检查 开机实际操作，用目测法检查上下片机构。 6. 9自动对准机构测试 6.9.1开机操作用秒表检测自动对准时间。 6.9.2用100倍的读数显微镜检测自动对准精度。 6.10电气控制系统测试 4