ICS 71.100.20 G 86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 31987—2015 锗烷 电子工业用气体 Gas for electronic industryGermane 2015-09-11发布 2016-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 31987—2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位：上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究 设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、西南化工研究设计院有限公司。 本标准主要起草人：方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云。 I GB/T 31987—2015 电子工业用气体 锗烷 1范围 本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。 本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。 它用于化学试剂、制取高纯度、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。 分子式：GeH4。 相对分子质量：76.662（按2011年国际相对原子质量计算）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099 钢质无缝气瓶 GB/T5832.3气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 GB 7144 气瓶颜色标志 GB 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB 16804 气瓶警示标签 GB/T26571 特种气体储存期规范 GB/T 28726 气体分析氢离子化气相色谱法 气瓶安全监察规程（2000版） 危险化学品安全管理条例（2011版） 特种设备安全监察条例（2009版） 技术要求 3 烷的质量应符合表1的要求 表1技术指标 项目 指标 锗烷（GeH）纯度（体积分数）/10-2 666'66 氢（H2）含量（体积分数）/10-6 < 50 氧（O）+氩（Ar）含量（体积分数）/10-6 2 氮（Nz）含量（体积分数）/10-6 2 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 1 1 GB/T 31987—2015 表1 (续) 项目 指标 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10一 1 甲烷（CH）含量（体积分数)/10-6 1 水（H2O)含量（体积分数）/10-6 3 颗粒 供需双方商定 4试验方法 4.1 抽样、判定和复验 4.1.1 错烷产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产 品不合格。 4.1.2锗烷采样安全应符合GB/T3723的相关规定。 4.2 锗烷纯度 锗烷纯度按式（1）计算： =10010 (1) 式中： 锗烷纯度（体积分数）/10-； 氧十氩含量（体积分数）/10-； p2 氮含量（体积分数）/10-； ed 氧化碳含量（体积分数）/10-； 二氧化碳含量（体积分数）/10-； 甲烷含量（体积分数）/10-°； ds 水含量（体积分数）/10-6。 4.3锗烷尾气处理措施 测定锗烷中杂质含量时，应有锗烷尾气处理措施。 4.4氢、氧（氩）、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷的测定 按GB/T28726规定的切割进样的方法测定锗烷中的氧（氩）、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量 预分离柱：长约2m、内径2mm的不锈钢管，内装约粒径为0.18mm～0.25mm的酸化PorapakQ （一种高分子聚合物），或其他等效色谱柱。 色谱柱：色谱柱I：长约3m、内径2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子 筛，或其他等效色谱柱。该柱用于分析氢、氧（氩）、氮、一氧化碳、甲烷含量。 色谱柱Ⅱl：长约2m、内径2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的酸化PorapakQ， 或其他等效色谱柱。该柱用于分析二氧化碳含量。 标准样品：组分含量的体积分数为（15）×10-6，或与样品其中的组分含量相近，平衡气为氨。 允许采用其他等效的方法测定锗烷中的氢、氧（氩）、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量。当以上测 定结果有异议时，以本标准规定的方法为仲裁方法。 2 GB/T31987—2015 4.5水含量的测定 按GB/T5832.3规定的方法或其他等效的方法测定锗烷的水含量。当以上测定结果有异议时，以 GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法。 5标志、包装、贮运及安全 5.1标志、包装及购运 5.1.1锗烷的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程》、《危险化学品安全管理条例》和《特种设备安全 监察条例》的相关规定。 5.1.2包装锗烷的气瓶应符合GB5099的规定。 5.1.3推荐使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阀出气口连接方式推 荐使用CGA350。 5.1.4应防止瓶口被污染和泄漏 5.1.5锗烷的充装应符合GB14193的相关规定。 5.1.6锗烷的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB7144的规定，标签应符合 GB16804,GB15258规定的要求 5.1.7包装容器上应标明“电子锗烷”字样。 5.1.8瓶装锗烷的最大充装量按式（2）计算： m=Fr.V ...(2) 式中： m ——气瓶内锗烷的质量，单位为千克（kg）)； 锗烷的充装系数（F，=0.05），单位为千克每升（kg/L）； V 气瓶标明的内容积，单位为升（L）。 5.1.9锗烷的保存期限按GB/T26571规定执行 5.1.10错烷出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括 产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号； —一生产日期或批号，充装质量（kg)； 一本标准号及技术指标，检验员号。 5.1.11锗烷产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁暴晒，远离热源。 5.2 安全警示 5.2.1锗烷在常温常压下为具有刺鼻气味的无色有毒气体，极易燃。气体比空气重，可能沿地面流动， 烷发生分解。 5.2.2与锗烷接触时，不应使用明火、不应有火花和不应吸烟。若发生火灾，应切断气源，如对周围环 境无危险，让火自行燃尽。其他情况用雾状水，抗溶性泡沫灭火。 5.2.3时间加权平均接触限值：0.2×10-6（体积分数），0.63mg/m。 注：时间加权平均接触限值：正常8h工作日或40h工作周的时间加权平均含量。 5.2.4锗烷刺激眼睛、皮肤和呼吸道，可能对血液有影响，导致血细胞损害。接触可能造成死亡。 5.2.5泄漏时，应迅速撤离危险区域。 5.2.6接触锗烷时，推荐使用带有隔绝式呼吸器的气密式化学防护服。 5.2.7分析系统应保证密闭。取样、置换过程的锗烷尾气，都应经解毒处理后再放空。设备、仪器在通 3