ICS 71.100.20 CCS G 86 中华人民共和国国家标准 GB/T 42721—2023 电子特气 一氧化氮 Electronic specialty gasNitric oxide 2024-03-01实施 2023-08-06发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T427212023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。 本文件起草单位：大连科利德光电子材料有限公司、昊华气体有限公司、湖州市南浔区佰通标准化 研究院、中船（邮郸）派瑞特种气体股份有限公司广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限 公司、江西华特电子化学品有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、绿菱电子材料（天津）有限公司、 北京高麦克仪器科技有限公司、三峡大学、湖北和远气体股份有限公司、湖北京瑞气体有限公司、兰州裕 隆气体股份有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、昊华气体有限公司西南分公司、中昊光明化工 研究设计院有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有 限公司、上海市计量测试技术研究院、中国计量科学研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、宿州伊维特 新材料有限公司、联雄投资（上海）有限公司、杭氧集团股份有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、上海 凡伟仪器设备有限公司、浙江泓芯半导体有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、空气化工产品（中国） 投资有限公司、浙江炬和科技有限公司、绍兴科艺标准技术咨询有限公司、沈阳中复科金压力容器有限 公司、浙江西亚特电子材料有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广 瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司。 本文件主要起草人：施旖旅、付梦月、陈辉、刘颖、焦培培、郭琼、张天泽、李翔宇、袁瑞玲、邵治平、 傅铸红、陈艳珊、金向华、孙猛、廖恒易、茹高艺、曹雪枫、汤萍、牛艳东、李长健、马彬淇、杜大艳、曹小林、 方强、袁有录、王小波、尹爱华、常侠、边鲁宁、阳辉、汪正宏、陈洁、吴靓、方华、王昭彬、于庆伟、高艳秋、 郝萍、王德发、张体强、张金波、杨金山、秦远望、何波、杨康、黄辉、韩一松、毛玲玲、吴慧明、兰锋、尚柏羊、 耿朝曦、王晶、李倩、董硕、顾大正、宫兵、王大为、杨利、钱叶超、吴乾康、梁永强、梁成科、高静、马昌宁、 赵刚、赖晓峰、周鹏云。 GB/T42721—2023 电子特气一氧化氮 1范围 本文件规定了一氧化氮的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息 的要求 本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于 本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶 GB/T5832.3气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 8979 纯氮、高纯氮和超纯氮 GB/T 11640 铝合金无缝气瓶 GB/T14194 压缩气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB/T 16804 气瓶警示标签 GB/T28726 气体分析氨离子化气相色谱法 TSGR0005 移动式压力容器安全技术监察规程 TSG 23 气瓶安全技术规程 ISO 19230 气体分析采样导则（Gas analysis一Samplingguidelines) 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 技术要求 一氧化氮的技术要求应符合表1的规定。 表1技术要求 项目 指标 氧化氮（NO)纯度（摩尔分数）/10-2 ≥99.9 （氧十氩）（O2十Ar)含量（摩尔分数）/10-6 9> 氮（N2）含量（摩尔分数）/10-6 <500 1 GB/T42721—2023 表1技术要求（续） 项目 指标 甲烷（CH）含量（摩尔分数）/10-6 <10 二氧化碳（CO,）含量（摩尔分数）/10-6 <100 氧化亚氮（N.O)含量（摩尔分数）/10-% <500 二氧化氮（NO2）含量（摩尔分数）/10-6 <100 水分（H,O)含量（摩尔分数)/10-6 <5 杂质总含量（摩尔分数）/10-6 000 1> 5 采样 一氧化氮的采样应符合ISO19230的规定。 6 试验方法 警示：本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况，使用者应采取适当的安全和健康防护措施。 6.1 一氧化氮纯度 6.1.1杂质总含量 杂质总含量按公式（1)计算： g=++++++ ...(1) 式中： （氧十）含量（摩尔分数），10-； 氮含量（摩尔分数），10-； T2 甲烷含量（摩尔分数），10-； T3 T4 二氧化碳含量（摩尔分数），10-； as 氧化亚氮含量（摩尔分数），10-； 二氧化氮含量（摩尔分数），10-； t7 水分含量（摩尔分数），10-； 杂质总含量（摩尔分数），10-6 6.1.2 一氧化氮纯度 一氧化氮纯度按公式（2)计算： =100-g ×10-4 ..(2) 式中： 氧化氮纯度（摩尔分数），10-2。 r 6.2 氧十氩、氮、甲烷、二氧化碳、氧化亚氮含量的测定 6.2.1测定方法 按GB/T28726规定的切割进样的方法测定一氧化氮中氧十氩、氮、甲烷、二氧化碳、氧化亚氮含 2 GB/T 42721—2023 量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁方法。 6.2.2预分离柱 长约1.6m、内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.15mm～0.18mm的碳分子筛，或其他等效色 谱柱。 6.2.3色谱柱 色谱柱I：长约2m、内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.15mm～0.18mm的5A分子筛，或 其他等效色谱柱。该柱用于测定氧十氩、氮含量。 色谱柱IⅡ：长约2.5m、内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的高分子聚合物 （乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物），或其他等效色谱柱。该柱用于测定甲烷含量。 色谱柱Ⅲl：长约2m、内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的高分子聚合物 （乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物），或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳、氧化亚氮含量， 6.2.4标准样品 标准样品中组分含量与被测组分含量相近，平衡气为氮。 6.2.5气路切割流程及典型色谱图 参考的气路切割流程示意图及典型色谱图见附录A。 6.3二氧化氮含量的测定 6.3.1仪器 检测限：1×10-6（摩尔分数）。 6.3.2测定条件 6.3.2.1 参考的测定条件 参考的测定条件如下： 一分辨率：0.5cm-1~2cm-l; —环境温度：18℃~25℃； 一环境相对湿度：≤60%。 6.3.2.2其他测定条件 其他测定条件按照仪器说明书执行。 6.3.3试剂和材料 6.3.3.1气体池：池体材质宜为石英或者不锈钢。 6.3.3.2高纯氮：符合GB/T8979的规定。 6.3.4标准样品 3 GB/T42721—2023 准样品。 6.3.5测定步骤 6.3.5.1启动仪器 按傅里叶红外光谱仪说明书开启仪器。调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定后即可测定 6.3.5.2吹扫 测定前，宜用高纯氮吹扫光腔和气路系统，参考的气路吹扫装置流程示意图见附录B。 6.3.5.3标准曲线的建立 2840cm-1～2940cm-1处的吸收响应值。每种标准样品至少重复进样两次，直至两次响应值的相对 偏差不大于5%，取其平均值，制作以吸光度信号的响应值为纵坐标、以含量为横坐标的工作曲线 6.3.5.4样品的测定 以建立标准曲线同样的测定条件测定样品。重复进样至少两次，直至两次平行测定的相对偏差不 大于5%，取平均值。 当水分和甲烷的含量偏高时，可能会干扰测定。当水分干扰测定时，宜选用特征峰波数： 2840cm-1~2940cm-l。当甲烷干扰测定时，宜选用特征峰波数：1578cm-1~1615cm-l。 6.3.6其他等效方法 可采用其他等效的方法测定一氧化氮中的二氧化氮含量。当对测定结果有异议时，以6.3规定的 傅里叶红外光谱分析方法为仲裁方法。 6.4水分含量的测定 按GB/T5832.3的规定执行。 可采用其他等效的方法测定一氧化氮中水分含量。当对测定结果有异议时，以GB/T5832.3规定 的方法为仲裁方法。 6.5尾气处理 测定时，应有一氧化氮尾气处理措施，以防正一氧化氮对室内环境的污染。 7检验规则 一氧化氮产品应逐一检验并验收。当检验结果均符合表1的技术要求时，判该产品合格。当检验 结果有任何一项指标不符合表1的技术要求时，则判该产品不合格。 8标志、包装、运输、贮存及安全信息 8.1标志 8.1.1一氧化氮出厂时应有产品质量合格证，其内容至少应包括： 4 GB/T 42721—2023 一产品名称、生产厂名称、危险化学品生产许可证编号； 生产日期或批号，以及保质期； 一充装压力（MPa)； 本文件编号及一氧化氮的纯度。 8.1.2包装容器上应涂刷“电子一氧化氮”字样。 8.1.3 一氧化氮的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，标签应符