ICS19.060 H 22 中华人民共和国国家标准 GB/T39163—2020 靶材与背板结合强度测试方法 Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies 2020-11-19发布 2021-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T39163—2020 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司。 本标准主要起草人：丁照崇、陈明、赵永善、熊晓东、贺昕、林若虚、李勇军、张晓娜、曹欢欢、王云能 袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军。 GB/T39163—2020 靶材与背板结合强度测试方法 1范围 本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法 本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。 注：靶材与背板结合方式包括钰焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦 焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T228.1一2010金属材料拉伸试验第1部分：室温试验方法 GB/T 228.2 2金属材料拉伸试验第2部分：高温试验方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T10623金属材料力学性能试验术语 GB/T16825.1静力单轴试验机的检验第1部分：拉力和（或）压力试验机测力系统的检验与 校准 3术语和定义 GB/T228.1一2010界定的以及下列术语和定义适用于本文件。为了便于使用，以下重复列出了 GB/T228.1-2010中的某些术语和定义 3.1 靶材 target 在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形 式脱离阴极而在阳极表面沉积。由靶坏和背板组成。 3.2 靶坏 targetblank 阴极上用作溅射材料的部分。 3.3 背板backingplate 用来支撑或固定靶坏的部分。 3.4 最大力 maximumforce Fm 试样在屈服阶段之后所能抵抗的最大力。对于无明显屈服（连续屈服）的材料，为试验期间最大 的力。 注：改写GB/T228.1一2010，定义3.9.1和3.9.2。 1 GB/T39163—2020 3.5 应力 stress 试验期间任一时刻的力除以试样原始横截面积（S。）之商。 [GB/T228.1—2010,定义3.10] 3.6 抗拉强度 tensile strength Rm 相应最大力（F㎡）对应的应力。 [GB/T228.1—2010,定义3.10.1] 3.7 抗剪强度 shear strength Tm 试样在剪切断裂前所能承受的最大切应力。 [GB/T11363—2008,定义4.4] 3.8 室温 room temperature 温度为10℃～35℃的条件。对温度要求严格的试验，试验温度应为23℃土5℃。 3.9 高温 high temperature 温度高于35℃的条件。 4 符号和说明 表1列出的符号适用于本文件。 表1符号和说明 符号 单位 说明 Fm N 最大力 s mm? 结合面积 Rm N/mm² 抗拉强度 N/mm Tm 抗剪强度 D. mm 拉伸试样-背板外径 Di mm 拉伸试样-靶坏外径 D. mm 拉伸试样-背板内径 H. mm 拉伸试样-背板厚度 H, mm 拉伸试样-靶还厚度 AH. mm 拉伸试样-背板过结合界面余量 AH, mm 拉伸试样-靶坏过结合界面余量 D. mm 拉伸试验装置-垫座外径 D. mm 拉伸试验装置-垫座内径 2 GB/T39163—2020 表1(续) 符号 单位 说明 Di mm 拉伸试验装置-压头直径 H. mm 拉伸试验装置-垫座厚度 Hd mm 拉伸试验装置-压头高度 H. mm 剪切试样-背板厚度 H, mm 剪切试样-靶坏厚度 AH. mm 剪切试样-背板过结合界面余量 AHi mm 剪切试样-靶坏过结合界面余量 L. mm 剪切试样-总长度 Li mm 剪切试样-背板长度 Le mm 剪切试样-靶坏长度 mm 剪切试样-结合面长度 mm 剪切试样-总宽度 H. mm 剪切试验装置-垫座固定背板长度 H. mm 剪切试验装置-垫座总长度 Ld mm 剪切试验装置-垫座总厚度 mm 剪切试验装置-垫座固定靶坏宽度 W, mm 剪切试验装置-垫座总宽度 注: 1 N/mm²=1 MPa 5 试样 5.1 试样的种类 按试验的种类和试样的形状分类，见表2。 表 2 试样的种类 试验种类 试样形状 拉伸试验 环面对接 剪切试验 平板搭接 5.2 试样及装置的形状与尺寸 5.2.1 拉伸试验试样及装置的尺寸 拉伸试样的尺寸见表3，试样形状如图1所示。拉伸试验装置的尺寸见表4，拉伸试验装置如图2a） 及图2b)所示。拉伸试验试样与装置装配如图3所示。 3. GB/T39163—2020 表 3 拉伸试样的尺寸 单位为毫米 名称 D. D. D. H. H AH. AH, 拉伸试样 25~35 40~60 15~25 5~20 5~15 0.2~0.5 0.2~0.5 表 4 拉伸试验装置的尺寸 单位为毫米 名称 Da D. Df H. Ha 拉伸试验装置 ≥D: H+(5~10) D+(0.2~0.5) D-(0.2~0.5) H.+(5~10) 5.2.2 剪切试验试样及装置的尺寸 剪切试样的尺寸见表5，试样形状如图4所示。 剪切试验装置的尺寸见表6，剪切试验装置如图5 所示，剪切试验试样与装置装配如图6所示。 表 5 剪切试验试样的尺寸 单位为毫米 H. H: La 名称 AH. AH Lb L. AL W. 剪切试样 5~20 5~15 0.2~0.5 50~90 20~50 20~50 0.2~0.5 5~20 20~50 表 6 剪切试验装置的尺寸 单位为毫米 H' 名称 Hg La W'. 40~60 剪切试验装置 H+(0.2~0.5) L.+△L W.+(0.2~0.5) 40~100 4 GB/T 39163—2020 表面祖糙度单位为微米 D 1. 6 / 背板 AH AH 靶材- . 结合界面 靶坏 图1 拉伸试验试样示意图 表面粗糙度单位为微米 表而粗糙度单位为微米 Pc1 D 1.6/ 1. 6 / D 垫座 a) b）压头 图2拉伸试验装置示意图