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ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T36053—2018/ISO16413:2013 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告 Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-ray reflectometry-Instrumental requirements,alignment and positioning data collection,data analysis and reporting (ISO16413:2013,IDT) 2018-03-15发布 2019-02-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T36053—2018/ISO16413:2013 目次前言引言 1 范围 2术语、定义、符号和缩略语 2.1术语和定义 2.2符号和缩略语 3仪器要求、准直和定位指南 3.1 扫描方法的仪器要求 3.2 仪器准直 3.3 样品准直数据采集和存储 4.1 概述 4.2 数据扫描参数 4.3 动态范围 4.4 步长（峰定义） 4.5 采集时间（累计计数） 10 4.6 分段数据采集 10 4.7 降低噪声 4.8 探测器 4.9 环境 4.10 数据存储 5 数据分析· 5.1 初步数据处理 5.2 样品建模· 5.3 XRR数据模拟 5.4 一般举例…. 5.5 数据拟合 17 6XRR分析报告中的必要信息 18 6.1 概述 6.2 实验细节 18 6.3 分析（模拟和拟合）程序 18 6.4 报告XRR曲线的方法 19 附录A（资料性附录）氮氧化硅晶圆测量报告示例 22 参考文献 26

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