ICS 01. 040. 37:37. 020 N 33 中华人民共和国国家标准 GB/T 23414--2009/ISO 22493:2008 微束分析 扫描电子显微术 ‧术语 Microbeam analysis--Scanning electron microscopy- Vocabulary (1SO 22493:2008,IDT) 2009-04-01发布 2009-12-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 23414—2009/ISO 22493:2008 目 次 前言 引言 II 范围 缩略语 3 SEM物理基础术语： SEM仪器术语. 5 SEM成像和图像处理术语 6 SEM图像诠释和分析术语 14 7 SEM图像放大倍率和分辨率校正及测量术语 16 参考文献…. 18 中文索引…… 19 英文索引 22

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