ICS 71.100.20 G 86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32386—2015 电子工业用气体 六氟化钨 Gases for electronic industry-Tungsten hexaflouride 2015-12-31发布 2016-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32386—2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。 本标准起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究 设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。 本标准主要起草人：郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨任、周鹏云。 GB/T32386—2015 电子工业用气体 六氟化钨 1范围 本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全 本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学 气相沉积工艺、钨材料的制备等。 分子式：WF6。 分子量：297.8304192（按2009年国际相对原子质量计算）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099 钢质无缝气瓶 GB/T5275.10气体分析 动态体积法制备校准用混合气体第10部分：渗透法 气瓶颜色标志 GB 7144 GB 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 气瓶警示标签 GB 16804 GB/T 26571 特种气体储存期规范 GB/T28726气体分析氨离子化气相色谱法 TJ36-79工业企业设计卫生标准 气瓶安全监察规程（2000版） 危险化学品安全管理条例（2002版） 特种设备安全监察条例（2009版） 3技术要求 六氟化钨的技术指标应符合表1要求。 表1技术指标 项目名称 指 标 六氟化钨（WF，）纯度（体积分数）/10-2 666 99.999 99.999 5 6666'66 四氟化碳（CF）含量（体积分数）/10-6 10 0.5 0.5 0.1 氮（N2）含量（体积分数）/10-6 50 1 0.5 0.1 1 GB/T32386—2015 表1(续) 项目名称 指 标 （氧十氩）（O十Ar）含量（体积分数）/10- 50 0.5 0.5 0.1 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 0.5 0.5 0.1 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 0.5 0.5 0.1 六氟化硫（SF。）含量（体积分数）/10-6 10 0.5 0.5 0.1 四氟化硅（SiF，）含量（体积分数）/10-6 10 0.5 0.5 0.1 氟化氢（HF）含量（体积分数)/10-6 800 5 1 0.3 钼（Mo）含量/（μg/L) 100 10 10 一 铁（Fe）含量/（μg/L） 20 10 5 钾（K）含量/（μg/L） 5 5 5 一 钠（Na）含量/（μg/L） 5 5 5 铬（Cr）含量/（μg/L) 10 10 5 针（Th）含量/（μg/L) 0.1 0.1 0.1 铀（U）含量/（μg/L） 0.05 0.05 0.05 钻（Co）含量/（μg/L) 10 10 5 10 10 5 锰（Mn）含量/（μg/L） 一 铅（Pb）含量/（μg/L） 10 10 5 一 锌（Zn）含量/（μg/L) 10 10 5 钙（Ca）含量/（μg/L) 5 5 5 金属元素含量 10 10 5 镁（Mg）含量/（μg/L) 镍（Ni）含量/（μg/L） 20 20 10 铜（Cu）含量/（μg/L) 5 5 5 ≤ 铝（AI)含量/(μg/L) 10 10 5 砷（As）含量/（μg/L) 10 10 5 硼(B）含量/(μg/L) 10 10 5 镉（Cd）含量/（μg/L) 2 2 2 - 钛（Ti)含量/(μg/L) 10 10 5 锂（Li)含量/（μg/L) 10 10 5 硅（Si)含量/（μg/L） 10 10 5 磷(P)含量/（μg/L) 2 2 2 试验方法 4 4.1 抽样、判定和复验 同一生产线连续稳定生产的六氟化钨气体构成 文一批，每批产品的质量不超过500kg。 4.1.1 2 GB/T32386—2015 4.1.2纯度为99.9×10-2（体积分数）的六氟化钨抽样瓶数按表2规定从每批产品中随机抽样。当检 验结果有任何一项不符合表1要求时，应自该批产品中重新加倍抽样检验，若仍有一项指标不符合要 求，则该批产品为不合格。 表 2 2瓶装六氟化钨产品抽样表 每批产品瓶数 最少抽样瓶数 1 1 2~8 2 9~15 3 16~25 5 4.1.3其余纯度的六氟化钨应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求 时，则判该产品不合格 4.1.4六氟化钨采样安全应符合GB/T3723的相关规定。 4.2六氟化钨纯度 4.2.1纯度为99.9X10-2（体积分数）的六氟化钨纯度按式（1)计算： Φ=100一(Φ+Φ2+Φ+Φ+Φ，+Φ,）X10-4 .(1) 式中： Φ 六氟化钨纯度，（体积分数），10-²； Φ 四氟化碳含量（体积分数），10-； Φ2 （氧十氩）含量（体积分数），10-； Φ: 氮含量（体积分数），10"； 六氟化硫含量（体积分数），10-； Φs 四氟化硅含量（体积分数），10一"； 氟化氢含量（体积分数），10-。 4.2.2其余纯度的六氟化钨纯度按式（2)计算： Φ=100（Φ+Φ2+Φ：+Φ+Φ，+Φ。+Φ+Φ）×10-4 ......(2) 式中： Φ 六氟化钨纯度，（体积分数）10-²； Φl 四氟化碳含量（体积分数），10-6； Φ2 （氧十氩）含量（体积分数），10-6； Φ: 氮含量（体积分数），10-； 二氧化碳含量（体积分数），10-； Φ; 氧化碳含量（体积分数），10-； 六氟化硫含量（体积分数），10-； Φr 四氟化硅含量（体积分数），10-； Φ: 氟化氢含量（体积分数），10-6。 4.3四氟化碳、氧十氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫含量的测定 按GB/T28726规定的切割进样的方法测定六氟化钨中的四氟化碳、氧十氩、氮、二氧化碳、一氧化 3