ICS 31.200 L 55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 26112—2010 微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则 Micro-electromechanical system technology- General rules for the assessment of micro-mechanical parameters 2011-01-10发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 26112—2010 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口。 本标准起草单位：天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中 原工学院。 本标准主要起草人：胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥。 I GB/T26112—2010 微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则 1范围 本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T26111微机电系统（MEMS)技术术语 3术语和定义 GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 量micro-mechanical parameters 微机械量 泛指一切与微机械性质和状态相关的物理量，包括几何量、流量、温度、声学、力学和运动等物理量； 由于几何量、流量、温度、声学等物理量进行了专门的分类，因此微机械量是指位移、速度、加速度、振动 等运动特性参量，以及与运动特性相关的力学参量 3. 2 微位移Microscaledisplacement 描述质点在微米级尺度下位置变化的物理量，其大小等于起点至终点的直线距离，方向由起点指向 终点。 注1：微结构在受到一定激励的条件下会产生位置的变化，典型的位置变化有两种形式，平移和转动，分别对应线位 移和角位移。 注2：如果将微结构基底作为一个参考平面，与这个参考平面面平行的位移为面内位移，否则称为离面位移。 3.3 振动vibration 物体的往复运动。按照往复运动的方向可分为线振动和角振动。评定微结构的振动特性主要包 括：振动幅度、谐振频率、振动模态、品质因子。 3. 4 残余应力 residual stress 在微加工处理完成后，在没有外力的作用下，在微机械结构内部保持平衡而存留的应力，称为残余 应力，是内应力、外应力和热应力的综合作用 3.5 应力梯度 stress gradient 微机械结构残余应力在厚度方向的非均匀分布，悬空式微机械结构在下部辆牲层释放后会由于残 1