ICS 71. 040. 10 G 08 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 26571—2011 特种气体储存期规范 Specification for the shelf life of a specialty gas 2011-06-16发布 2011-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 26571—2011 前言 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（SAC/TC203/SC1)归口。 本标准起草单位：西南化工研究设计院 本标准主要起草人：周鹏云。 1 SNG GB/T 26571—2011 特种气体储存期规范 1范围 本标准规定了各种特种气体至少应达到的储存期。 应商提供的气体。在本标准中，储存期是从质量的角度来考虑的。本标准不涉及与延长储存有关的安 全问题。 2术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 2. 1 剩余量residual level 留在容器中的以质量或压力计的剩余产品量。该量应尽量少，以最大限度降低上次充填气体中高 含量杂质对制作工艺的影响。 2. 2 储存期 shelflife 从分析完成的时间起，供应商保证气体质量的期限。在这个期限内，应保证准确分析过的杂质含量 保持或低于某一特定等级气体规定的技术指标上限。 2.3 液干liquiddry 液化气体中所有的液相用完。 3要求 3.1影响特种气体储存期的因素 3.1.1气体的热稳定性。 3.1.2容器和阀门的质量 材料选择； 气密性。 3.1.3气体与不同物质的共存稳定性 气体和杂质； 气体和包装材料。 3.1.4充装和分析操作。 3.1.5运输和储存条件。 3.1.6容器中产品的量。 3.1.7阀门的气密性是决定气体储存期的关键因素，特别是对于低压气体。为有效提高气体与不同物 质的共存稳定性，首先应将气体纯化到一定程度，使所含杂质不再随时间而变化，同时还应选择合适的 包装材料。充装前，对容器内表面进行化学、物理或钝化处理，也可以有效减少反应随时间的延续而产 生的影响。 1