ICS 31-030 L 90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 25496—2010 代替GB/T9506.9—1988,GB/T9506.10—1988,GB/T6626.4—1986,GB/T9506.11—1988 吸气剂机械性能测试方法 Test methods for the mechanical properties of getters 2010-12-01发布 2011-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T25496—2010 前言 本标准是将以下标准整合后进行修订的： GB/T9506.9—1988《吸气剂装载量测试方法》； GB/T9506.10—1988《吸气剂压制或烧结牢固度测试方法》； GB/T6626.4一1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂压粉牢固度的检测方法》； GB/T9506.11—1988《吸气剂支架焊接强度测试方法》。 本标准与原标准相比主要变化如下： 在规范性引用中增加对GB/T4314《吸气剂术语》的引用； 将烧结型吸气剂的牢固度测试方法由跌落失重法更改为振动失重法； 增加用于CCFL的带状吸气剂牢固度测试方法； 焊接强度测试增加拉力试验器的测试方法； 增加吸气剂压制密度均匀性测试方法； 根据GB/T1.1一2000的要求进行格式修订。 本标准代替下列标准： GB/T9506.9一1988《吸气剂装载量测试方法》 GB/T9506.10一1988《吸气剂压制或烧结牢固度测试方法》； GB/T6626.4一1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂压粉牢固度的检测方法》； GB/T9506.11—1988《吸气剂支架焊接强度测试方法》。 本标准的附录A是规范性附录。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国 电子科技集团公司第十二研究所。 本标准主要起草人：薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T 9506.9—1988; GB/T 9506.10—1988; GB/T6626.4—1986; —GB/T9506.11—1988。 1 GB/T25496—2010 吸气剂机械性能测试方法 1范围 本标准规定了吸气剂装载量、吸气剂压制或烧结固度，吸气剂载体与支架焊接强度、吸气剂压制密 度均匀性等吸气剂机械性能测试方法。 本标准适用于真空器件用吸气剂。 规范性引用文件 2 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T4314吸气剂术语 3术语 GB/T4314所确定的术语和定义适用于本标准。 4吸气剂装载量测试方法 4.1原理 采用直接称重法或差重法。 4.2仪器 分析天平（精度为0.1mg）。 4.3测试步骤 4.3.1无载体的试样 用分析天平直接称量试样（精确到0.1mg）。 4.3.2有载体的试样 用分析天平称试样的重量，然后剥去试样上的载料，再用分析天平称吸气剂载体的重量（均精确到 0.1 mg). 4.4数据处理 4.4.1装载量的计算 4.4.1.1无载体试样 直接由分析天平称出的量即为装载量Wa（mg）。 4.4.1.2有载体试样 装载量按(1)式计算： W.-W,-W. (1) 式中： Wa—装载量，mg; 试样重量，mg； W. 载体重量，mg。 1 GB/T25496—2010 4.4.2装载量一致性的计算 4.4.2.1平均装载量 平均装载量按（2)式计算： W.d ..(2) 式中： 平均装载量，mg； Wdi 第i个试样的装载量，mg； 试样个数(n>9）。 n 4.4.2.2装载量的标准偏差 装载量的标准偏差按（3）式计算： (Wa-Wa)2 Ow. .(3) 式中： 装载量的标准偏差，mg； ow. Wa- 平均装载量，mg； Wai— 第i个试样的装载量，mg； 试样个数（n>9）。 n 4.5测试报告 测试报告形式如表1所示。 表1吸气剂装载量的测试报告 装载量标准偏差owa 装载量Wa 平均装载量W. 序号 吸气剂型号 mg mg mg 4.6主要误差来源 4.6.1分析天平的零点漂移和精度。 4.6.2 载料剥离的干净程度。 5 吸气剂压制或烧结牢固度测试方法 5.1原理 采用差重法测试失重量，即利用试样在震动或弯曲试验前后所出现的重量差额来表征吸气剂的总 体压制或烧结牢固度。 5.2设备 a）分析天平：精度为0.1mg； b) 弯曲试验机； 振动试验台； c) d）切割机。 5.3测试步骤 5.3.1单个成品试样 5.3.1.1压制试样 将一个试样装粉面朝下，从规定高度处自由落于水平放置的具有纯白色底色的干净玻璃板上，根据 2 GB/T25496—2010 试样跌落前后的重量，计算出失重量。 不同重量压制试样的跌落高度见表2。 表2不同重量的压制试样跌落高度 试样重量范围/mg ≤400 400~800 ≥800 跌落高度/cm 150 100 50 5.3.1.2烧结试样 所有试样称重后，分别放人用隔板分割为正方形区域的80目筛网中，分割区域的面积为烧结型试 样最大垂直投影面积的（9~10)倍。以38Hz,振幅1.2mm的条件下振动40min后，再次分别称重试 样，计算出失重量。 5.3.2用于CCFL的带状吸气剂 5.3.2.1从待测剂带上剪下（25士0.1)cm长的试样，用分析天平称重。 5.3.2.2将试样剂带插人切割机（如图1所示），切10片1.5mm长度的吸气剂片下来（如果为单面 带，将有粉的一面向上）。 5.3.2.3将切割下的试样与剩余试样放人50目的标准筛网中轻轻筛动，去除剥落的粉末。 5.3.2.4用分析天平称重，测量其失重量， 弹性压料块 限位块 带料 1.5 mm 图1切割机示意图 5.3.3其他用途成卷带状试样 5.3.3.1从待测剂带上剪下（25士0.1)cm长的试样，用分析天平称重。 5.3.3.2将试样剂带插人“弯曲试验机”（如图2所示），使手柄A和B都处于“开”的位置（试样若为双 面压结带，插人试样时，如有钛汞合金粉层，则钛汞合金粉层应面向曲杆，试样若为单面压结带，无粉的 一面应面向曲杆）。 固定弹簧 图 2 弯曲试验机示意图 3